连日来，广州天气阴雨绵绵、气温骤降，同时又面临着三年来最严峻的疫情形势，在宽禁带半导体国家工程研究中心广州中心（暨西安电子科技大学广州第三代半导体创新中心）项目建设现场，仍能看到工程师们正冒雨协调设备运输车辆进场和设备搬运工作，天气虽然湿冷，但丝毫阻挡不住项目建设的步伐。为践行二十大精神、加快项目进度，他们不断优化建设方案，密切配合抓进度，克服困难抢工期，只为争取项目早日建成投产。

创新中心项目于2021年2月签约落地，3月正式开建。为顺利推进项目开展，团队领导对建设工作周密部署、科学规划、明确节点、靠前指挥。项目建设初期，人少任务重，“5+2”、“白+黑”是工作的常态，团队上下咬紧目标不放松，凝心聚力、迎难而上，全力以赴履使命。场地选址、规划设计、厂房建设、设备采购、队伍组建等各项工作有序推进，顺利通过2021年底项目第一阶段验收，并得到了专家组的高度评价。一分耕耘，一分收获，团队荣获西安电子科技大学“2021-2022年度先进集体”；2022年8月，创新中心被经济参考报、中国经济时报、南方都市报等国内各大媒体采访报道。

自项目2021年3月正式开建至今，创新中心的8/6英寸氮化镓中试平台完成租赁场地改建面积6671平方米。超净间内外硬装现已全部完成，厂务系统完成联调，全面准备好工艺设备的进驻和二次配改。改造后的超净室总面积达到2100平方米，其中包括百级洁净区200平方米、千级洁净区1300平方米和万级洁净区600平方米。建成后，可达到折合6英寸氮化镓晶圆2000片/年以上的加工能力。

迄今为止，创新中心完成外延、工艺、封装和测试设备的调研及订购约3亿元、共173台（套）。2022年5月26日，中心迎来首台大型设备搬入重大节点，标志着项目向前推进迈出重要一步。团队以此为契机，再接再厉，锚定目标，适当加压，持续推进。为确保设备搬入工作顺利进行，研发、厂务和设备部门各司其职、通力合作，全力做好设备进场、搬运、定位、二次配等保障工作。设备现已到场99台（套），正在有序进行安装、调试工作。

（中试平台已到场设备）

在承担着平台建设重要任务的同时，团队教研人员努力做到平台建设和技术开发两手抓、两不误。中心主任张进成教授获得何梁何利科学技术奖；张进成教授牵头的成果《移动通信用新型氮化物异质结构及电子器件》项目在硅基氮化物外延和毫米波器件方面取得关键突破，研究成果获评中国电子学会技术发明一等奖。获批广东省卓越青年团队项目1项、国家重点研发计划项目课题1项、国家自然科学基金重点项目子课题1项、青年科学家项目子课题1项、广州市基础研究计划项目3项；与华为签订合作协议，开展技术合作；成功推动与清远先导稀材有限公司等企业建立联合实验室，进行技术合作。

一年多来，创新中心团队始终坚守初心、奋力前行，用实际行动践行初心使命，推动团队事业高标准、高质量发展。在各级政府部门以及学校、广研院的关心和大力支持下，项目建设初见成效，内部管理逐步走向正轨，人员队伍不断壮大，团队全职人数达到30人，其中引进包括国家级青年人才等高级人才9人。目前项目正处于第二阶段建设关键时期，下一步我们将继续围绕建设目标任务，扎实推进各项工作，为力争实现2023年初通线目标接续奋斗。

创新中心作为宽禁带半导体国家工程研究中心广州中心，是西安电子科技大学与广州开发区管委会合作共建的具有全球领先水平的第三代半导体创新中心，依托建设，由郝跃院士领衔，致力于第三代半导体材料、器件与集成电路的工程化技术研发和产业化，重点建设氮化镓等第三代半导体器件和集成电路的设计、加工制造、封装、测试分析等研发、中试和产业化平台。聚焦大尺寸氮化镓材料外延生长、氮化镓微波毫米波器件与集成电路、氮化镓电力电子器件与集成电路等技术领域，建设高标准的研发代工公共服务平台和产业支撑体系，积极进行科技成果转化，孵化初创企业，促进第三代半导体上下游相关产业公司和人才在广州开发区聚集，协助推进第三代半导体产业链在广州开发区落地，服务地方经济发展。